マスクフィルムの断面構造

レーザにて描画後のマスクフィルムの断面構造は下図の様になっています。

マスクフイルムの断面構造

レーザフォトプロッタで出力した
マスクフィルムのベースフイルム厚さは
約0.175mmです。

イメージセッターで出力したマスクフィルムの
ベースフイルムの厚さは約0.100mmです。

膜面側の保護層+遮光層の厚さは、約0.005mmです。

ベース面側の保護層の厚さは、約0.004mmです。

膜面側から見たパターンや画像が、データ作成時に見る像と同じ場合を、膜上出力と言います。
その逆に、ベース面側から見た像がデータ作成時に見る像と同じ場合を、膜下出力です。
マスクフィルムをレジスト等に密着して露光する場合、膜下出力したマスクフィルムを使用します。
スクリーン印刷用のマスクフィルムは、膜上出力です。